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專利資訊
能量光束曝光方法及曝光裝置
東芝股份有限公司
申請案號
092113994
公告號
200407962
申請日期
2003-05-23
申請人
東芝股份有限公司
發明人
佐佐木紀昭
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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