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專利資訊
供積體電路光學量測用之波長的選擇
東京威力科創美國股份有限公司
申請案號
092114372
公告號
200401099
申請日期
2003-05-28
申請人
東京威力科創美國股份有限公司
發明人
斯里尼凡斯 多迪
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G01B11/24
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