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專利資訊
縮小導體圖案之間距的方法
旺宏電子股份有限公司
申請案號
092114885
公告號
200308019
申請日期
2003-06-02
申請人
旺宏電子股份有限公司
發明人
賴俊仁
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/31
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