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專利資訊
磁控管電漿用磁場發生裝置
信越化學工業股份有限公司
申請案號
092114930
公告號
200402105
申請日期
2003-06-02
申請人
信越化學工業股份有限公司
發明人
宮田浩二
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3065
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