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專利資訊
電漿處理裝置
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092115105
公告號
200408317
申請日期
2003-06-03
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
石橋清隆
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H05H1/46
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