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供低Ｋ介電材料用之化學機械研磨方法

美商ＣＭＣ材料股份有限公司

申請案號
092115419
公告號
200401819
申請日期
2003-06-06
申請人
美商ＣＭＣ材料股份有限公司
發明人
凱文Ｊ　默艾格柏格
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C09G1/02
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供低Ｋ介電材料用之化學機械研磨方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通