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專利資訊
放電電漿處理系統
愛發科股份有限公司
申請案號
092115746
公告號
200400556
申請日期
2003-06-10
申請人
愛發科股份有限公司
發明人
內田岱二郎
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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