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專利資訊
具有低電阻值之自行對準矽化物結構及製程方法
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092116010
公告號
200428511
申請日期
2003-06-12
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
黃健朝
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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