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以光蝕刻在半導體基材上佈局微結構用罩幕之決定方法
億恆科技股份公司
申請案號
092116025
公告號
200407963
申請日期
2003-06-12
申請人
億恆科技股份公司
發明人
羅德里克 克勒
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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