IP

由固體前驅物製造蒸氣的方法以及以該方法處理基底之系統

ＡＳＭ國際股份有限公司

申請案號
092116365
公告號
200404912
申請日期
2003-06-17
申請人
ＡＳＭ國際股份有限公司
發明人
馬可　涂民納
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C23C16/448
查看申請人公司資訊

本站使用 Cookie 進行流量分析，以提供更好的使用體驗。

由固體前驅物製造蒸氣的方法以及以該方法處理基底之系統 - 專利資訊 | NowTo 智財通