IPC C23C16/448 專利列表
共 10 筆結果
於化學氣相沈積系統中降低微粒形成的方法與氮氧化矽薄膜的形成方法
旺宏電子股份有限公司
案號 0931001962004-01-06IPC C23C16/448
由固體前驅物製造蒸氣的方法以及以該方法處理基底之系統
ＡＳＭ國際股份有限公司
案號 0921163652003-06-17IPC C23C16/448
汽化器、使用該汽化器之各種裝置、以及汽化方法
渡邊商行股份有限公司
案號 0921145332003-05-29IPC C23C16/448
汽化器及用於汽化、供給之裝置
日本派歐尼股份有限公司
案號 0921125192003-05-08IPC C23C16/448
使用低蒸汽壓氣體前驅物將薄膜沉積於基材的方法及系統
瑪森科技公司
案號 0921088732003-04-17IPC C23C16/448
使用微波激發之沈積方法及沈積裝置
美光科技公司
案號 0921082382003-04-10IPC C23C16/448
氣源之輸送
晶圓大師股份有限公司
案號 0921081012003-04-09IPC C23C16/448
用於低介電薄膜的輸送聚合之製程模組
介電質系統股份有限公司
案號 0921078112003-04-04IPC C23C16/448
自液化氣溶液之物質沉積
美光科技公司
案號 0911380322002-12-31IPC C23C16/448
化學流體沈積之污染抑制
麻薩諸塞大學
案號 0911370242002-12-23IPC C23C16/448