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使用間隔體沈積技術界定電路元件尺寸之方法
高級微裝置公司
申請案號
092116496
公告號
200400570
申請日期
2003-06-18
申請人
高級微裝置公司
發明人
馬汀 瑪蘇
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/336
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