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專利資訊
碟形物件之濕處理裝置
蘭研究公司
申請案號
092116803
公告號
200400557
申請日期
2003-06-20
申請人
蘭研究公司
發明人
卡爾 海恩茲 霍亨瓦特
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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