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專利資訊
製造一氮化的氧化矽閘極介電之方法
萬國商業機器公司
申請案號
092117809
公告號
200409238
申請日期
2003-06-30
申請人
萬國商業機器公司
發明人
賈S 伯恩漢
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/318
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