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使用非晶碳層於改善光罩之製造方法
高級微裝置公司
申請案號
092117923
公告號
200401376
申請日期
2003-07-01
申請人
高級微裝置公司
發明人
賽洛斯E 塔貝瑞
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3205
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