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使用光學反射儀控制蝕刻輪廓中之刻痕或底切程度的方法
應用材料股份有限公司
申請案號
092118120
公告號
200402762
申請日期
2003-07-02
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
史帝芬J 瓊斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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