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專利資訊
切削類似晶圓工件之方法
瓦克矽電子公司
申請案號
092118126
公告號
200401405
申請日期
2003-07-02
申請人
瓦克矽電子公司
發明人
提蒙 海木斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/78
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