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蒸發液體反應物之斷續式供應方法與裝置

荷蘭商ＡＳＭ　ＩＰ控股公司

申請案號
092118177
公告號
200402774
申請日期
2003-07-03
申請人
荷蘭商ＡＳＭ　ＩＰ控股公司
發明人
賽文　林德福斯
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/205
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蒸發液體反應物之斷續式供應方法與裝置 - 專利資訊 | NowTo 智財通