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專利資訊
光罩載具及支撐光罩之方法
美商恩特葛瑞斯股份有限公司
申請案號
092118184
公告號
200402763
申請日期
2003-07-03
申請人
美商恩特葛瑞斯股份有限公司
發明人
布萊恩 懷斯曼
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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