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專利資訊
被處理體之氧化方法
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092118381
公告號
200402790
申請日期
2003-07-04
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
西田辰夫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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