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專利資訊
具有磁性電漿控制之電容耦合電漿反應器
應用材料股份有限公司
申請案號
092118529
公告號
200402795
申請日期
2003-07-07
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
丹尼爾J 荷夫曼
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3065
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