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專利資訊
矽石系有機被膜與其製造方法、以及具備該有機被膜之基材
東京應化工業股份有限公司
申請案號
092118726
公告號
200403758
申請日期
2003-07-09
申請人
東京應化工業股份有限公司
發明人
澀谷達彥
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/31
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