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專利資訊
磊晶成長用矽晶圓及磊晶晶圓以及其製造方法
信越半導體股份有限公司
申請案號
092119052
公告號
200402776
申請日期
2003-07-11
申請人
信越半導體股份有限公司
發明人
星亮二
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/208
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