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絕緣體上矽多晶矽溝渠再填充周邊氧化物錨架構

北星創新股份有限公司

申請案號
092119283
公告號
200414412
申請日期
2003-07-15
申請人
北星創新股份有限公司
發明人
蓋瑞Ｊ　歐布瑞恩
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/76
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絕緣體上矽多晶矽溝渠再填充周邊氧化物錨架構 - 專利資訊 | NowTo 智財通