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專利資訊
冷卻一熱處理裝置之系統及方法
艾斯摩美國股份有限公司
申請案號
092119297
公告號
200409176
申請日期
2003-07-15
申請人
艾斯摩美國股份有限公司
發明人
邱泰慶
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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