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專利資訊
基底處理方法及基底處理裝置
化學藝術技術股份有限公司
申請案號
092119309
公告號
200407969
申請日期
2003-07-15
申請人
化學藝術技術股份有限公司
發明人
渡部博
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/08
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