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氣體分佈裝置及其氣體分佈模組

台灣積體電路製造股份有限公司

申請案號
092119371
公告號
200403712
申請日期
2003-07-16
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
蘇螢中
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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