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專利資訊
氣體分佈裝置及其氣體分佈模組
台灣積體電路製造股份有限公司
申請案號
092119371
公告號
200403712
申請日期
2003-07-16
申請人
台灣積體電路製造股份有限公司
發明人
蘇螢中
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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