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專利資訊
將移轉至支撐基片上之材料之有用層之外緣線平順之方法
斯歐埃技術公司
申請案號
092119454
公告號
200414332
申請日期
2003-07-16
申請人
斯歐埃技術公司
發明人
齊賽倫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/30
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