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層間絕緣膜用感光性組成物及圖案化層間絕緣膜之形成方法

ＡＺ電子材料股份有限公司

申請案號
092119476
公告號
200401951
申請日期
2003-07-17
申請人
ＡＺ電子材料股份有限公司
發明人
長原達郎
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G03F7/039
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層間絕緣膜用感光性組成物及圖案化層間絕緣膜之形成方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通