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電解式遮罩鉻膜之蝕刻製程方法
中芯國際集成電路製造(上海)有限公司
申請案號
092119595
公告號
200504867
申請日期
2003-07-17
申請人
中芯國際集成電路製造(上海)有限公司
發明人
唐光亞
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3063
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