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專利資訊
多層結構之高溫各向異性蝕刻
尤那西斯美國公司
申請案號
092119631
公告號
200406028
申請日期
2003-07-18
申請人
尤那西斯美國公司
發明人
李耀昇
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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