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用於ＣＶＤ方法之鋯錯合物及使用彼來製備薄膜的方法

沙斯格特斯有限公司

申請案號
092119680
公告號
200413558
申請日期
2003-07-18
申請人
沙斯格特斯有限公司
發明人
田雄三
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

C23C16/06
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用於ＣＶＤ方法之鋯錯合物及使用彼來製備薄膜的方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通