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專利資訊
半導體積體電路裝置之製造方法
日立製作所股份有限公司
申請案號
092119751
公告號
200403763
申請日期
2002-04-19
申請人
日立製作所股份有限公司
發明人
佐藤英紀
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/318
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