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專利資訊
雙金屬鑲嵌溝深度監視系統
格羅方德半導體公司
申請案號
092119916
公告號
200402841
申請日期
2003-07-22
申請人
格羅方德半導體公司
發明人
洛庫馬 蘇伯拉曼恩
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/768
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