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專利資訊
用於終點偵測與相關方法之研磨墊
應用材料股份有限公司
申請案號
092120151
公告號
200403129
申請日期
2003-07-23
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
柏格斯勞A 史威克
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
B24B37/04
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