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專利資訊
用於旋轉潤洗乾燥機之親水性零件
應用材料股份有限公司
申請案號
092120463
公告號
200415674
申請日期
2003-07-25
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
詹姆士福隆斯岱爾
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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