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專利資訊
形成雙層抗蝕劑圖案
應用材料股份有限公司
申請案號
092120465
公告號
200414301
申請日期
2003-07-25
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
吉姆忠義何
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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