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專利資訊
提供氣體至一處理室之方法與設備
應用材料股份有限公司
申請案號
092120720
公告號
200402758
申請日期
2003-07-29
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
羅夫A 坤瑟爾
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/00
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