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專利資訊
具有改良式氣體混合手段之濕機台
顯像製造服務股份有限公司
申請案號
092120774
公告號
200403745
申請日期
2003-07-30
申請人
顯像製造服務股份有限公司
發明人
李碩周
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/306
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