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使用具螺旋狀通道的載氣導引結構之昇華基座

荷蘭商ＡＳＭ　ＩＰ控股公司

申請案號
092120786
公告號
200403721
申請日期
2003-07-30
申請人
荷蘭商ＡＳＭ　ＩＰ控股公司
發明人
艾瑞克Ｊ　赫洛
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/08
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