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專利資訊
改良之深溝槽結構製程方法
南亞科技股份有限公司
申請案號
092121636
公告號
200507165
申請日期
2003-08-07
申請人
南亞科技股份有限公司
發明人
許平
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/76
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