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量測薄膜或薄層之厚度的方法及裝置

島津製作所股份有限公司

申請案號
092122230
公告號
200406578
申請日期
2003-08-13
申請人
島津製作所股份有限公司
發明人
新屋和也
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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量測薄膜或薄層之厚度的方法及裝置 - 專利資訊 | NowTo 智財通