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專利資訊
量測薄膜或薄層之厚度的方法及裝置
島津製作所股份有限公司
申請案號
092122230
公告號
200406578
申請日期
2003-08-13
申請人
島津製作所股份有限公司
發明人
新屋和也
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G01B11/06
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