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專利資訊
硬式遮罩臨界尺寸修整方法
蘭姆研究公司
申請案號
092122287
公告號
200406840
申請日期
2003-08-13
申請人
蘭姆研究公司
發明人
C 羅勃特 科因州普拉斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3065
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