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自基材表面選擇性移除材質的方法,晶圓遮罩材料,及帶有遮罩材料之晶圓

伊克塞利塔斯科技新加坡私人有限公司

申請案號
092122386
公告號
200414276
申請日期
2003-08-14
申請人
伊克塞利塔斯科技新加坡私人有限公司
發明人
馬丁 豪斯勒
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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自基材表面選擇性移除材質的方法,晶圓遮罩材料,及帶有遮罩材料之晶圓 - 專利資訊 | NowTo 智財通