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專利資訊
具有高深寬比特徵之蝕刻方法
應用材料股份有限公司
申請案號
092122415
公告號
200411763
申請日期
2003-08-14
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
亞傑庫默
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/3065
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