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在基底中定義深溝槽之方法及用以定義深溝槽之多層硬式罩幕結構

南亞科技股份有限公司

申請案號
092122720
公告號
200509292
申請日期
2003-08-19
申請人
南亞科技股份有限公司
發明人
鄒侃儒
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/76
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