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具有傾斜台狀側壁薄膜之半導體裝置的製造方法

ＰＳ４盧克斯科公司

申請案號
092122724
公告號
200405468
申請日期
2003-08-19
申請人
ＰＳ４盧克斯科公司
發明人
佐藤好弘
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/31
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具有傾斜台狀側壁薄膜之半導體裝置的製造方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通