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專利資訊
奈米碳管電晶體之製造方法
財團法人工業技術研究院
申請案號
092122853
公告號
200509309
申請日期
2003-08-20
申請人
財團法人工業技術研究院
發明人
駱伯遠
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/8232
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