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專利資訊
微細圖像之形成方法
東京應化工業股份有限公司
申請案號
092123047
公告號
200425264
申請日期
2003-08-21
申請人
東京應化工業股份有限公司
發明人
中村剛
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/027
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