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專利資訊
降低沉積反應室腔體內氟殘留的方法
統寶光電股份有限公司
申請案號
092123124
公告號
200509223
申請日期
2003-08-22
申請人
統寶光電股份有限公司
發明人
林輝巨
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/205
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